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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈的空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式 需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

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凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、無塵車間、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜,層流車即屬此類。
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技術(shù)特點
(1)除塵效率高。對于凈化含塵質(zhì)量濃度<10 g/m3的氣體,除塵效率可達99.99%,適應(yīng)持續(xù)、高濃度粉塵(入口質(zhì)量濃度可高達60 g/m3)。
(2)下壓進氣設(shè)計,克服二次揚塵。適合處理超細粉塵環(huán)境和低密度粉塵環(huán)境,再配用性能良好的濾料,可使除塵器長期穩(wěn)定運行;能耗較傳統(tǒng)式除塵器降低30%,設(shè)備能長期穩(wěn)定運行。
(3)濾料凈面橫插式結(jié)構(gòu),橫向換袋,滿足樓層不高的室內(nèi)安裝;結(jié)構(gòu)緊湊,比傳統(tǒng)式產(chǎn)品減少空間30%;由于采用可靠的脈沖噴射清灰,使濾料在同樣應(yīng)用環(huán)境下的過濾風(fēng)速較反吹風(fēng)清灰方式提高3倍多,從而大大減少濾料面積,避免了設(shè)備龐大而出現(xiàn)投資多,占地面積大的情況。

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式中L1為排風(fēng)罩的通風(fēng)量,m3/s;K1為安全系數(shù),取1.2;P為排風(fēng)罩敞開面周長,m;H為罩口至污染源的距離,m;為邊緣控制點的控制風(fēng)速,m/s。
計算得系統(tǒng)排風(fēng)量為5832rn3/h,除塵設(shè)備選用處理風(fēng)量為6000m3/h的單機除塵機組。系統(tǒng)投入運行后,效果良好,基本消除了車間內(nèi)粉塵亂飛的現(xiàn)象。
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